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2009年,亦庄国投向北方微电子增资1.2亿元以支持其基地建设;2012年,亦庄国投以共享知识产权的方式向北方微电子提供专项地配资金以保障“90/65nm刻蚀机研发与fb体育化项目”的顺利实施。